国产化
中国科学院上海光学精密机械研究所成功开发出LPP-EUV光源技术,有望突破中国芯片生产的技术瓶颈。
中国科学院上海光学精密机械研究所成功开发出基于固体激光器技术的LPP-EUV光源,达到国际领先水平,有望打破西方在EUV光刻技术方面的长期垄断。