芯片国产化
[韭研]
(14 days ago)
中国科学院上海光机所在极紫外(EUV)光刻光源技术上取得重大突破,使用固体激光器技术开发出LPP-EUV光源,达到国际领先水平,对中国自主开展EUV光刻有重要意义。
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中国科学院上海光机所在极紫外(EUV)光刻光源技术上取得重大突破,使用固体激光器技术开发出LPP-EUV光源,达到国际领先水平,对中国自主开展EUV光刻有重要意义。