韭研日报
(日期: 2025-05-05, 记录: 2 条)
芯片国产化
[韭研]
euv光刻鸡重大突破
(14 days ago)
中国科学院上海光机所在极紫外(EUV)光刻光源技术上取得重大突破,使用固体激光器技术开发出LPP-EUV光源,达到国际领先水平,对中国自主开展EUV光刻有重要意义。
EUV光刻
固体激光器
半导体
国产化
科技
光刻技术
芯片国产化
[韭研]
euv光刻鸡重大突破
(14 days ago)
中国科学院上海光机所在极紫外(EUV)光刻光源技术上取得重大突破,使用固体激光器技术开发出LPP-EUV光源,达到国际领先水平,对中国自主开展EUV光刻有重要意义。
EUV光刻
固体激光器
半导体
国产化
科技
光刻技术
芯片国产化
2025-05-05
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