【上海新阳:ArF浸没式光刻胶已取得销售订单】4月22日,上海新阳在互动平台上表示,公司主要开发括I线、KrF、ArF在内的各类晶圆制造用光刻胶,已实现KrF光刻胶多款产品批量化销售,2024年光刻胶产品整体销售规模持续增加,同比增长超100%,ArF浸没式光刻胶已取得销售订单,迈出了实现产业化的第一步。
上海新阳的业务及亮点如下:
业务方面
- 半导体材料业务:包括后道传统封装材料、前道晶圆制程材料、后道先进封装材料。产品有大马士革铜互连、TSV、Bumping电镀液及配套添加剂,铜制程蚀刻后清洗液,铝制程蚀刻后清洗液,氮化硅蚀刻液,化学机械研磨后清洗液,无铅纯锡电镀液及添加剂,去毛刺溶液,逻辑和模拟芯片制造用的I线光刻胶、KrF光刻胶、ArF干法光刻胶,存储芯片制造用的KrF厚膜光刻胶,底部抗反射膜(BARC)等。
- 半导体配套设备业务:通过子公司新阳硅密开展,主要从事300mm批量式清洗机与300mm单片电镀机的开发,为中国大陆芯片制造行业提供湿法工艺支持以及设备服务。
- 涂料业务:主要由子公司考普乐承载,主营PVDF氟碳粉末涂料,与半导体主业运行基本独立,公司计划剥离涂料板块,聚焦发展半导体业务。
亮点方面
- 技术研发实力强:是工信部第一批“专精特新”小巨人企业,拥有上海市集成电路关键工艺材料重点实验室。作为民营企业,承担了多项国家专项项目,开发的超纯硫酸铜电镀液及添加剂打破国际垄断。截至2022年末,已申请发明专利273项(授权117项),国际发明专利17项(授权8项)。
- 光刻胶业务进展良好:光刻胶项目在客户测试中表现出色,ArF光刻胶研发成功推进多个产品的测试验证,部分产品性能接近对标产品。I线、KrF光刻胶产品已在超10家客户端测试验证,取得部分样品订单,部分产品获晶圆制造企业小批量连续订单。
- 半导体业务增长强劲
- 产能扩张有序推进:上海厂区年产能1.9万吨扩充目标已完成,合肥第二生产基地一期二期同时建设,合计规划产能7万吨,一期在设备安装调试阶段。上海化学工业区项目预计年产500吨I线、KrF、ArF干/湿法光刻胶等多种产品。
- 客户资源优质:与多家知名机构建立长期合作关系,产品广泛应用于集成电路制造、3D - IC先进封装、IC传统封测等领域,拥有客户180余家。